激光塵埃粒子計數器一般主要有哪些部件組成及各部分功能

　　1、光檢測器

　　光檢測器是將散射光能量轉換為電信號的光電轉換器件。激光塵埃粒子計數器中常用的光檢測器是光電倍增管和光電二極管。

　　光電倍增管把光電子放大幾萬(wàn)倍后轉換成幾個(gè)毫伏到幾十毫伏的電信號，光譜具有線(xiàn)性好、響應時(shí)間快、暗電流小的優(yōu)點(diǎn)，缺點(diǎn)是體積大。光電倍增管工作時(shí)需加上幾百伏特的負高壓，儀器中有相應的高壓產(chǎn)生電路。

　　2、流里監控

　　目前國產(chǎn)塵埃粒子計數器常采用轉子流量計作流量指示，則儀器的流量調節大多數是直接調節轉子流量計上的旋鈕，此時(shí)儀器的控制電路對流量是沒(méi)有監控的。進(jìn)口塵埃粒子計數器通過(guò)流量傳感器對流量進(jìn)行監測，通過(guò)手動(dòng)調節或自動(dòng)反饋調節。

　　塵埃粒子計數器的采樣流量一般為2.83L/min或28.3L/min(進(jìn)口儀器常以“立方英尺每分”為單位，標記為0.1cfm或1cfm)，主要是為了便于進(jìn)行符合209E的潔凈度的計算。

　　3、光源

　　光源是塵埃粒子計數器的關(guān)鍵部件，對儀器的性能影響很大。光源要求穩定性高、壽命長(cháng)、不受干擾。

　　光源有普通光源和激光光源兩種。普通光源為碘鎢燈，體積大、發(fā)熱量高、壽命短，開(kāi)機后需要預熱。激光光源為激光器，體積小、穩定性高、壽命長(cháng)，常與檢測腔及光檢測器做成一體，組成傳感器。常見(jiàn)的激光光源有HeNe激光器、激光二極管

　　采用普通光源的塵埃粒子計數器對0.3μm以下的微粒信號響應很低，其信號幅度與計數器本身的噪聲幅度相差無(wú)幾，信號很難從噪聲中檢測出來(lái)。此類(lèi)儀器雖然標有0.3μm這一通道，但只適于測定大于0.3μm特別是0.5μm以上的微粒。

　　4、測量腔

　　測量腔是進(jìn)行微粒觀(guān)測的空間，被采集的空氣要從測量腔內穿過(guò)。儀器的光學(xué)系統使光源經(jīng)透鏡、狹縫照射到測量腔中，形成一個(gè)體積約幾個(gè)立方毫米的光敏感區。當空氣中的塵埃通過(guò)光敏感區時(shí)，會(huì )散射出一部分光能量，被與人射光成一角度(90或70)的集光透鏡收集，再投射到光檢測器上。

　　5、氣泵及過(guò)濾器

　　氣泵位于儀器內部，使儀器產(chǎn)生采樣流量。氣泵要求噪音低、振動(dòng)小、產(chǎn)生的氣流穩定。過(guò)濾器應能過(guò)濾掉0.3μm以上的微粒，以免從儀器排出的空氣對潔凈區產(chǎn)生影響。

　　6、電路系統

　　不同粒徑大小的粒子經(jīng)塵埃粒子計數器的光電系統轉換后，會(huì )產(chǎn)生不同幅度(電壓)的電脈沖信號，粒徑越大，脈沖電壓越高。信號電壓與粒徑之間的關(guān)系，也叫轉換靈敏度。對于給定的塵埃粒子計數器，粒徑大小與脈沖電壓是一一對應的，例如某臺塵埃粒子計數器的轉換靈敏度為0.3μm對應69mV，0.5μm對應531mV，1.0μm對應701mV等，若塵埃粒子計數器檢測到一個(gè)脈沖為100mv，則這個(gè)粒子的大小肯定大于0.3μm而小于0.5μm。