激光塵埃粒子計數器內部零件測量功能分析

　　1、空氣泵和過(guò)濾器

　　空氣泵位于儀器內部，允許儀器產(chǎn)生樣品流?？諝獗眯枰驮胍?、小振動(dòng)、產(chǎn)生的氣流穩定。過(guò)濾器應能過(guò)濾掉大于0.3μm的顆粒，以防止從儀器排出的空氣影響清潔區域。

　　2、流量監控

　　粉塵顆粒計數器的取樣流量一般為2.83L/min或28.3L/min，進(jìn)口儀器通常標記為0.1cfm（立方英尺/分鐘）或1cfm，主要是為了方便Fed-Std-209E。

　　3、測量室

　　測量室是觀(guān)察顆粒的空間，收集的空氣通過(guò)測量室。儀器的光學(xué)系統使光源通過(guò)透鏡 狹縫照射測量室，以形成體積約為幾立方毫米的光敏區域。當空氣中的灰塵通過(guò)光敏區域時(shí)，一部分光能被聚光透鏡以入射光的角度（90度或70度）散射，然后投射到光電探測器上。

　　4、光探測器光電探測器是將散射光能轉換為電信號的光電轉換裝置。塵埃粒子計數器中常用的光電探測器是光電倍增管和光電二極管。

　　光電倍增管將光電子轉換成數萬(wàn)次，并將其轉換成幾毫伏到幾十毫伏的電信號。它具有良好的光譜線(xiàn)性。 快速響應時(shí)間 小暗電流的優(yōu)點(diǎn)很短。當光電倍增管工作時(shí)，需要增加幾百伏的負高壓。儀器中有相應的高壓發(fā)生電路。調試或校準儀器時(shí)要注意安全。

　　5、電路系統

　　通過(guò)塵埃粒子計數器的光電系統轉換不同粒徑的粒子，并產(chǎn)生不同幅度（電壓）的電脈沖信號。粒徑越大，脈沖電壓越高。信號電壓和粒徑之間的關(guān)系也稱(chēng)為轉換靈敏度。對于給定的塵埃粒子計數器，粒徑與脈沖電壓一一對應。例如，塵埃粒子計數器的轉換靈敏度對于69mv為0.3μm，對于531mv為0.5μm，對于701mv為1.0μm等，如果塵埃粒子計數器當檢測到100mv的脈沖時(shí)，其大小為顆粒當然大于0.3μm且小于0.5μm。